LED产业应用方案 |
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可靠度测试 |
可靠度测试服务 |
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可靠度测试设备 |
静电测试、电性栓锁测试、打线 |
LED静电测试 |
X-光射线检测服务 |
X-光射线显像 |
LED的X-光射线检测 |
故障定位 |
热显像、红外线微光显微镜、雷射光束电阻异常侦测 |
EMMI/InGaAs,OBIRCH 缺陷侦测定位
EMMI/InGaAs,OBIRCH 于故障分析应用
表面型態 |
光学干涉形貌仪 |
扫描式电子显微镜 |
扫描式电子显微镜俯视图;LED晶粒表面粗化观察 |
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晶片结构及薄膜厚度 |
扫描式电子显微镜 |
扫描式电子显微镜横切面图 |
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双粒子束断层扫描 |
双粒子束断层扫描精密纵切面图 |
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穿透式电子显微镜 |
穿透式电子显微镜纵切面图 |
(a)MQW and super lattice;(b)HR TEM of MQW;(c)PSS and buffer layer |
晶体缺陷观察(差排) |
穿透式电子显微镜(磊晶缓冲层的晶体缺陷) |
指定区域拍摄穿透式电子显微镜,观察排差的密度和排差的走向 |
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物质深度分布图 |
穿透式电子显微镜/X光微区分析,二次离子质谱仪 |
EM/EDX Line Profile – Blue LED – MQW and Superlattice
在超晶格层的In%可达到0.2at%的鉴定极限 |
Elemental Depth profile by SIMS
二次离子质谱仪可以有效改善纵深的解析度,闳康科技每日可提供5-10个试样的分析服务 |