X射线萤光分析仪 (XRF)
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技术原理 |
XRF是使用高能量X光或伽玛射线照射样品，使样品组成原子之内层轨域电子被激发成带能量之光电子，使内层轨域产生一个空洞，外层电子会填补内层空缺的电子位置，由于能阶之间的能量差而发射出特性X光，称为X光萤光（X-ray Fluorescence，XRF）。
不同的元素会放射出各自的特征X光，具有不同的能量或波长特性，检测器（Detector）接受这些X光，再由仪器软体系统将其转为对应的信号；可用于元素分析和化学分析，特别是在研究金属、玻璃、陶瓷和建筑材料，以及地球化学研究、法医学、电子产品进料品管（EU RoHS）和考古学等领域。
可携式X射线萤光分析仪具有手持的便利优势，可于现场进行快速检测，对于昂贵或不易搬运的样品，因考量其经济性和安全性，即非常适合使用；可应用于机场检查或反恐安全扫描、产品的真伪检测、环境探勘、法规要求的材料规格、即时品质管制检测等。
- 快速测量微小区域中的微量金属或薄膜
- RoHS检测模式具形状大小、厚度、位置补正功能，提升量测准确度
- 自动判别选取标准曲线功能
- 提供塑料专用软体，可排除因样品尺寸、厚度、形状、放置位置或与侦测器相对位置等差异所造成之误差
- 内建无卤规范之Br、Cl 标准检量线，可精确定量
- 提供样品元素自动图谱自动定性、定量元素分析
- 可于十秒完成对 0.2mm x 0.2mm 面积中之 Au/Ni/Cu（金/镍/铜）等薄膜多镀层的镀层厚度测量
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分析应用 |
- 非接触与非破坏分析
- 分析元素范围镁(Mg)－铀(U)，侦测极限可达ppm等级
- 没有样品大小限制，液体、粉体、固体皆可分析
- 印刷电路板、太阳能电池之快速扫瞄成份分析
- 膜厚测定
- 金属合金牌号分析（PMI）、八大贵金属分析、有害物质分析（RoHS）、无卤素分析
- 分析土壤/环境重金属分析
- 油品分析
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机台种类 |
 桌上型 X射线萤光分析仪 (Hitachi EA 6000VX) |
 可携式X射线萤光分析仪 XRF |
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应用实例 |
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高速扫描测量模式 |
RoHS检测 |
物料品质能谱差异 |
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联络窗口 |
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