|
太阳能电池分析实例 |
|
||||||||||||||||||||
|
太阳能电池结构的平面图 |
 |
图-1
|
非接触式3D表面轮廓仪 |
應用領域
- 平面度，表面粗糙度，台阶高度，变形和波纹度
- 2-D和3-D轮廓
好处
- 准确，快速且无需样品制备
- 可以对非常广泛的表面高度进行轮廓分析。 （〜180微米）
- 光学表面轮廓仪的优点包括
- 出色的高度分辨率
- 高测量速度
- 能够执行精密表面的非接触式测量
 |
 |
图-2 表面缺陷表征
(a)OP；(b)SEM；(c)在FPC上形成金属指；(d)光掩模检查
|
表面纹理（形态） |
奈米视图（光学轮廓仪）：表面粗糙度的定量表征
 |
 |
图-3
|
表面纹理化（形态，粗糙度） |
 |
 |
 |
 |
图-4
|
细胞结构 |
 |
图-5
|
正面表面纹理化 |
 |
图-6
|
背面铝 BSF |
 |
图-7
|
SEM – BSF染色 |
 |
图-8
|
SEM – 发射极结染色 |
 |
图-9
|
基板针孔 |
 |
 |
图-10 (a)FIB 图像；(b)SEM 图像
|
FIB 切割基板针孔 |
 |
 |
 |
图-11
|
基板针孔 (X-TEM) |
 |
 |
图-12
|
基板针孔 |
 |
图-13 截面TEM
|
EMMI 缺陷定位 |
- 泄漏（结/氧化物）
- 氧化物泄漏（低温）
- 补漏等
- 热电子（散装）
 |
图-14
|
多晶矽太阳能电池的EL图像 |
 |
图-15
|
矽太阳能电池FA的EMMI分析 |
 |
图-16
|
EMMI＆TEM的矽太阳能电池FA |
 |
图-17
|
SIMS 应用 |
- 超浅结分析
- 非常薄的层（十埃）分析
- 掺杂轮廓/深度轮廓
- 背面铜扩散
- 污染验证
- 出色的检测限（ppm到ppb）
- 可以检测所有元素和同位素，包括H
- 极好的深度分辨率，可能达到1nm
- 通过标准参考定量
- 绝缘子可以测量
 |
图-18
(a)CAMECA ims-6f，高透射率和高质量分辨率
(b)ATOMIKA sims 4500，高深度分辨率，超浅结
图-19 (a)超浅结 |
图-19 (b)高深度分辨率 |
|
矽太阳能电池的SIMS分析 |
 |
图-20