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无窗式设计使轻元素检测效能显著提升、超大面积构造为检测效率带来加分效果、优异的元素浓度层别辨别能力，EDS detector新型机台规格跃升，资料判读更具说服力！ |
EDS在半导体结构与故障分析的领域中因为其使用的便利性一直扮演着非常重要的角色，在结构组成或者缺陷来源的层别上都离不开EDS元素分析的功能，但同时身为材料分析实验室最常遇到的客户的疑问就是：能不能知道个别元素的占比？可不可以分辨重叠波峰的元素？
没错！ EDS毕竟是半定量的分析仪器，有其先天上的弱点，碰到这类问题时，往往需要间接的手法或者替代的机台来解决，于是乎，闳康科技为彻底解决这类难题，特别引入最新的EDS detector，期能为资料判读上更具说服力。
闳康科技新购之EDS detector是架设在TEM上，其无窗式的设计使轻元素的侦测效能有显著的提升，超大面积的构造则为侦测效率带来加分的效果，尤其在元素的浓度层别上具有优异的辨别能力。
当分析EDS mapping时，搭配色阶列，对于元素含量的多寡分布更是一目了然，总结其具有原子级的分辨力、快速的数据收集与微量元素分析等特点，是元素分析与浓度分布解析上不可多得的利器！
沟槽结构中观察Ta的浓度变化，其浓度的占比可由右侧之色阶列明显看出 |
LED MQW/super lattice中主要元素Al, In 的分布图，从色阶列可知其浓度的级别 |
