LED產業應用方案 |
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可靠度測試 |
可靠度測試服務 |
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可靠度測試設備 |
靜電測試、電性栓鎖測試、打線 |
LED靜電測試 |
X-光射線檢測服務 |
X-光射線顯像 |
LED的X-光射線檢測 |
故障定位 |
熱顯像、紅外線微光顯微鏡、雷射光束電阻異常偵測 |
EMMI/InGaAs,OBIRCH 缺陷偵測定位
EMMI/InGaAs,OBIRCH 於故障分析應用
表面型態 |
光學干涉形貌儀 |
掃描式電子顯微鏡 |
掃描式電子顯微鏡俯視圖;LED晶粒表面粗化觀察 |
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晶片結構及薄膜厚度 |
掃描式電子顯微鏡 |
掃描式電子顯微鏡橫切面圖 |
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雙粒子束斷層掃描 |
雙粒子束斷層掃描精密縱切面圖 |
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穿透式電子顯微鏡 |
穿透式電子顯微鏡縱切面圖 |
(a)MQW and super lattice;(b)HR TEM of MQW;(c)PSS and buffer layer |
晶體缺陷觀察(差排) |
穿透式電子顯微鏡(磊晶緩衝層的晶體缺陷) |
指定區域拍攝穿透式電子顯微鏡,觀察排差的密度和排差的走向 |
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物質深度分布圖 |
穿透式電子顯微鏡/X光微區分析,二次離子質譜儀 |
EM/EDX Line Profile – Blue LED – MQW and Superlattice
在超晶格層的In%可達到0.2at%的鑑定極限 |
Elemental Depth profile by SIMS
二次離子質譜儀可以有效改善縱深的解析度,閎康科技每日可提供5-10個試樣的分析服務 |