超音波掃瞄顯微鏡 (SAT)
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技術原理 |
超音波掃瞄顯微鏡 (SAT) 的全名為 Scanning Acoustic Tomography，一般我們又稱為 SAM (Scanning Acoustic Microscope)，而我們業界所聽到的 SAT 是指超音波頻率高於 20KHz 者，它可以穿透一定厚度的固態與液態物質，並檢測其結構組成是否有異常。目前使用之介質，通常為純水。
其檢測的基本原理為利用超音波發射源 (Probe) 透過純水為介質而傳導到待測試片上，經由超音波的反射或穿透等的作用，將此訊號經機台特定軟體處理成像。而 Probe 的選用會因為試片的厚度與材質而有所不同類型的選擇。最廣範圍 15~230MH 的轉換器，可應用於各種高階電子產品如 Microelectronics, LEDs, MEMS, Power Modules, High-Tech device 等。可穿透厚度大於 4mm 的樹脂封裝。
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機台種類 |
Hitachi FS300II |
Sonoscan GEN6 |
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分析應用 |
超音波主要用來檢測、解析 IC 內部不同位置的脫層、氣洞、裂痕及粘著狀況，隨著 IC 的微細化發展，超音波也將朝向高頻、高 Dumping、超微細 Beam 的方向發展。 此設備可以用來評估半導體電子業之封膠化合物，適合檢查封膠內的微小缺陷：
- 封裝崩裂 Package crack
- 層狀結構剝離 Delamination
- 脫層 Delamination
- 晶粒崩裂 Die crack
- 樹脂合成物裂縫 Void in resin
- 晶粒附著不良 Poor die attachment
- 金屬填孔的接觸不良 Poor contact
閎康科技之超音波檢驗系統特色可有即時 3D 成像、0.5um 高度分辨率、1000mm/秒高速度、A 掃瞄 (A-scan)、B 掃瞄 (B-scan)、C 掃瞄 (C-scan)、S 圖像 (S-image) 和透射式掃瞄 (T-scan)。
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聯絡窗口 |
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