EELS
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技術原理 |
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電子能量損失能譜（Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS） |
配備在穿透式電子顯微鏡上的電子能量損失能譜（Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS ）是一種高端的成份分析設備，主要應用於低原子序固體材料，例如碳氮氧等元素。EELS的能量解析度約1電子伏特（eV），搭配空間解析度約 1 奈米（nm）的掃瞄穿透式電子顯微鏡（Scanning Transmission Electron Microscop, STEM） 功能，STEM / EELS 已經成為奈米材料強而有力的分析工具。
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300KV Tita |
Gatan 965 EELS |
EELS 的能量過濾（Energy Filtered）成像技術可用於半導體低介電常數材料的觀察，過濾不同能量，所看到的對比會不同。
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下圖是利用 EELS 的近邊精細結構（Near Edge Fine Structure），用於鑑定 16nm 半導體製程中鰭狀電晶體（FFET）的柵極的各層氧化物中，辨別氧元素的不同化學鍵結。
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EELS 搭配 STEM 的線掃描功能用於半導體低介電常數材料的成份變化。
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