歐傑電子能譜分析儀 (FE-AES)
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技術原理 |
JEOL JAMP-9500F 為一場發射式掃描歐傑電子能譜分析儀，具有半球型 (HSA) 的能量解析器，可以達到極佳 0.05% 的電子能量分辨率；並且擁有極高的掃描電子影像 (SEM) 解析度 3nm，歐傑 Mapping 的解析度則可達到 8nm。
它是一種表面分析的精密儀器，可適用於表面 5~8nm 厚度物質之成份定性與半定量分析；除此之外，亦可搭配離子蝕刻進行多層薄膜間互相擴散現象的分析，或是污染成份的厚度評估，可針對產品表面殘留物的成份與含量作定期的監控。另外，藉由 database 的輔助亦可提供化學態的分析，特別適用於過渡金屬元素，更可以針對多種化學態共存的狀態下，分析其縱深分佈的情形。
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分析應用 |
- 歐傑能譜多點分析 (multi-points)
- AES縱深分析 (depth profile)
- AES mapping分析
- 監測樣品表面潔淨度
- 化學態分析
- 樣品表面成份與半定量分析
- 表面氧化層厚度評估
- 雜質分析 (0.1%濃度以上)
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機台種類 |
 圖1 JEOL JAMP-9500F |
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應用實例 |
圖-2 (a) Al pad縱深分析能譜 |
圖-3 (b) Al pad表面分析能譜 |
圖-4 (c) 氧化鐵的化學態分析 |
圖-5 (d) 導通孔(TSV) AES mapping |
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常見問題 |
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Q1. 請問 AES 分析面積大約是多少 ? |
A. AES分析面積會根據分析區域，分析結構與需求而定，最小分析面積可以到0.1um x 0.1um，最大可達400 um x 400um。
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Q2. XPS 跟 AES 有什麼差別 ? |
A. XPS分析光源是以X-ray去激發樣品表面來偵測光電子；AES是以電子束分析樣品表面來偵測Auger電子，而電子束的beam size較小，所以針對分析區域小於30um的樣品 (如chip上的pad, 金手指…等) 可考慮由Auger分析。若需進行化學態分析或定量分析，則優先考量XPS。
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Q3. 請問針對不導電的樣品 AES 還能分析嗎 ? |
A. 基本上AES在分析時會開flood gun進行電荷補償，可增加樣品導電性，若樣品導電性嚴重不佳，則可考量XPS分析。
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Q4. AES 除了做表面元素成份分析還能做什麼 ? |
A. 除了做元素成份分析，還可以做縱深分析、部分化態鍵結等分析，可依您分析目的做進一步討論，再提供最合適的分析方案幫助您找出問題。
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Q5. 請問若只做元素成份分析送樣，一般交期是多久 ? |
A. 一般收到樣品確認完需求，1-3個工作天會提供報告。
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聯絡窗口 |
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