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【MAFT 2024 | H1技術發表會】探索半導體未來科技 - 二維材料與寬能隙材料的奇妙世界

2024/03/21

閎康科技舉辦的 MAFT 2024 技術發表會於3月21日圓滿落幕!本次活動有線上參與的貴賓,也有閎康同仁前來精進學習,將近400位聽眾共襄盛舉。本次活動聚焦於二維材料和寬能隙材料,這兩個領域在半導體科技中扮演著重要的角色,對於未來半導體產業的發展至關重要,閎康科技透過聯繫學界與業界,為客戶創造領先的機會!此次技術發表會共邀請四位講者,分別針對寬能隙半導體大面積二維MoTe2電晶體、以離子佈植研製成長於藍寶石基板之N型β-Ga2O3磊晶膜和三六族半導體的應用進行深入探討。

 

 

 

 

國立中山大學-材料與光電科學學系與的張六文教授

第一場講座邀請中山大學的張六文教授,介紹電子隧道對比影像(ECCI)和電子背向散射繞射(EBSD)技術在寬能隙半導體磊晶缺陷分析中的應用。張教授指出,化合物半導體磊晶過程中產生的缺陷可能會對元件的性能產生嚴重影響,因此快速而準確地分析缺陷的種類、型態和分佈對於製程和品質管控至關重要。除了傳統的高解析X光繞射和穿透式電子顯微鏡技術之外,近年來,基於掃描式電子顯微鏡的兩項新技術——電子隧道對比影像(ECCI)和電子背向散射繞射(EBSD)逐漸在磊晶缺陷分析中嶄露頭角。這兩項技術的引入為寬能隙半導體磊晶缺陷的分析帶來了全新的視角。

 

電子隧道對比影像(ECCI)主要利用電子的隧穿效應來揭示晶格缺陷的位置和性質,進而提供了高解析度的缺陷圖像。而電子背向散射繞射(EBSD)則通過分析電子背向散射繞射圖案,提供了關於晶體結構和晶向的寶貴信息。這兩項技術的應用使得磊晶缺陷的分析更加全面和精確,為寬能隙半導體元件的製造提供了重要的支持。相較於傳統技術,ECCIEBSD具有更高的解析度和更快的分析速度,將有助於推動寬能隙半導體技術的不斷發展和應用。

 

國立成功大學-電機工程學系的李文熙教授

第二場講座由成功大學的李文熙教授介紹大面積二維MoTe2電晶體特性改善研究。二維材料被認為是後摩爾定律(Beyond Moore)應用於CMOS的通道之主要材料之一。二維材料的種類繁多,超過上千種,其中二硫屬過渡金屬化合物(TMD,例如MoTe2, MoS2)被認為是最有可能應用於積體電路的材料。使用TMD材料時,半導體歐姆接觸工程 (Ohmic Contact) 是主要議題之一,歐姆接觸工程旨在解決相鄰的相異材料介面上的電子傳輸問題。

 

李教授的團隊研究MoTe2材料時發現利用半金屬形成MoTe2電晶體歐姆接觸的新穎方式。 其通過高壓退火前處理MoTe2 相位控制機制來製作半金屬歐姆接觸改善MoTe2電晶體特性,並且也利用TCAD二維半導體模擬方法預測半金屬歐姆接觸的電阻及電晶體特性。

 

國立陽明交通大學-電子研究所的洪瑞華教授

第三場講座由國立陽明交通大學的洪瑞華教授介紹以離子佈植研製成長於藍寶石基板之N型β-Ga2O3磊晶膜及其元件特性之研究。β-Ga2O3擁有極高的能隙(EG)達4.8電子伏特,其雜訊特性優異,被視為理想的高功率元件材料。然而,未摻雜的β-Ga2O3因其高能隙而具有極高的阻值,無法直接應用於半導體元件的製造中。為了降低阻值並提高載子濃度,必須對該材料進行適當的摻雜。通常,將SiGeSn等元素作為施體(donor)來增加N型β-Ga2O3的電子濃度。

 

洪教授的團隊利用金屬有機化學氣相沉積法(MOCVD)成功製備出高品質、高結晶度的無損β-Ga2O3。更重要的是,該團隊還採用矽離子注入技術,可以在β-Ga2O3中精準控制矽的摻雜濃度。這使得能夠根據需求調節β-Ga2O3的電子濃度,進一步優化功率元件的製造過程。

 

國立陽明交通大學-電子物理學系的周武清教授

第四場講座由陽明交通大學的周武清教授介紹分子束磊晶技術在氧化鎵和三六族二維半導體製備中的應用。在半導體製造領域,分子束磊晶技術正以其卓越的製程控制和高品質晶體生長的特性,引領著未來的發展方向。而利用反射式高能量電子繞射技術,同時通過掃描式和穿透式電子顯微技術分析樣品表面形貌和內部晶體結構,可確保磊晶品質的最佳化。

 

在本研討會中,周教授詳細介紹了分子束磊晶技術在氧化鎵製備方面的應用,以及其在製備硒化鎵、碲化鎵、硒化銦等三六族二維半導體方面的研究進展。通過精密控制的磊晶過程,該研究團隊成功地生長出高品質的氧化鎵晶體。並且,也利用光譜技術對該光電特性進行了深入分析,揭示了這些材料在光電器件中的潛在應用價值。

 

閎康科技MAFT上半年技術發表會內容多元,內容深度能滿足技術人員想掌握最先進科研成果的的動機,廣度也能促進來自各產業的與會者拓展與閎康科技的合作機會。發表會中場休息時講者與聽眾的熱絡互動,讓閎康科技作為聯繫橋梁、成功讓學術界與產業界的連結更緊密。未來閎康科技的技術發表會資訊,亦會透過本公司的官網及社群媒體來公佈,有意願參加的夥伴,別忘了隨時關注我們,才不會錯過報名資訊喔!

 

活動花絮

現場參加者踴躍向講師提問請教。

 中場休息教授們交流合照。

閎康科技各實驗室的技術同仁連線參與。

閎康科技各廠區同仁一同學習科技新知

 

 

 

 

 

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常見問題

Q1.會提供講師簡報或演講影片嗎?
A.不提供喔,因簡報及影像為講師智財,若想了解更多技術細節,歡迎至閎康官網技術文章專區

Q2.錯過報名時間 (3/18 12:00pm),還可以追加報名嗎?
A.沒辦法呦,因須作業時間,3/18 12:00pm後即不再接受報名。

Q3.可否只參加特定講師的演講時段?
A.為了避免演講過程無法即時處理客戶連線,建議於開場前即先登入,待至有興趣的階段再開啟畫面!

Q4.我對活動內容有疑問,可以跟哪個窗口聯繫呢?
A.請洽閎康業務、或於官網Live Chat留言諮詢,我們將由線上專員為您解惑。

Q5.我對講師演講內容有興趣或疑問,可以跟哪個窗口聯繫呢?
A.建議於研討會的QA時段與講師互動:
現場聽眾-歡迎舉手提問
線上聽眾-請使用「會議聊天」留言您的疑問、或提前將詢問內容提列給閎康業務,演講當下將由主持人代為提問。

活動時間

2024/03/21 (四) 13:00~18:00

活動地點

線上直播

活動費用

Free