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Thermal Emission 進階應用 : 熱影像與溫度分布

2022/04/10

Thermal emission 在現今故障分析定位上已經是基本的工具之一,舉凡封裝、晶片或PCB的缺陷定位,皆是不可或缺的手法!

而基於其原理,在加裝配件之後還能夠偵測元件或封裝的溫度分布 (temperature mapping),以了解元件在操作時表面的實際溫度值,藉此改進晶片或封裝的設計。 

 

簡易來說,各項封裝元件,給予電壓就會獲得電流並產生「」,而這些「」會因其材質 (金屬、氧化物等) 的不同導致其熱輻射率有所差異;樣品下方放置加熱台,在熱平衡後利用溫度兩點校正方式製作待測物自身的 emissivity map,透過機台精密運算後可以判別樣品內區域的溫度分布,並可用切線方式繪製兩點間的溫度曲線,在判斷材質上的熱與溫度有絕對的優勢。

 

 

小常識時間 : 何謂 Emissivity 呢?

Emissivity 是材質在任何溫度下發射紅外光波段幅射的能力,同時它也等同於在熱平衡下對紅外光的吸收能力,因此一個物體如果不吸收任何的光,意味著它也幾乎不發出任何的光。舉例來說,金屬要比半導體較不容易發出紅外光,其 emissivity 的值就非常低,在做溫度偵測時,由於金屬較不易發出熱幅射,所以需考慮 emissivity 來做補償計算。一般在做熱點偵測來找缺陷時,也有可能因表面材質的 emissivity 影響,而使熱點偏移導致誤判了缺陷位置。

 

圖一 各材質的 emissivity

 

圖二 從 color bar 可得知各熱區的實際溫度

 

圖三 3D 溫度分布

 

圖四 在量測溫度分布前,需設置加熱台 (thermal chuck) 進行溫度校正

 

 

Thermal Mapping 分析應用

  • 針對已知熱源,可觀察表面溫度分布,進而判斷元件上材質的使用對熱分布的影響
  • 運用加熱台,待熱平衡後進行元件溫度的偵測,並進行各種溫度統計,比如溫度對時間的變化曲線、線性溫度的變化和區域內的平均溫度等
  • 黑體輻射的鏡頭偵測較長的波長,因此穿透率更高、熱輻射率的計算更為精確

 

圖五 元件上的溫度分布可利用線性 (2D) 的方式來呈現,除此之外,其溫度數據可以用直方圖、座標數據或其它統計方式表達

 

圖六 記錄溫度對時間的變化,藉此分析在特定供電條件下溫度的走勢