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TOF-SIMS（Time-of-Flight SIMS）達到靈敏度與解析度的完美平衡，帶來卓越的成分分析能力。在空間解析度與縱深解析度上的優異表現，可廣泛應用於先進製程的各種開發研究，是微區分析的一大利器。 |
 圖一 飛行式二次離子質譜儀（Time-of-Flight SIMS） |
成份分析儀器有許多種，有些像ICP-MS或Magnetic SIMS強調其偵測的靈敏度、有些如TEM下的EDS或EELS則以解析度為其優點。 要知道沒有一種成份分析儀器能夠面面俱到，可以同時兼顧靈敏度與解析度，甚且還要解析出是哪一種化合物或有機物的殘留；在很多情形下，需要靠各個儀器接力合作，才能完成未知物成份的定性與定量分析(圖二)。
現在情況不同了，各方引頸期盼，成份分析領域的好物 - TOF-SIMS終於降臨了，目前已經完成測試，正式開張營業囉！ |
圖二 各類成份分析儀器在靈敏度與解析度的分佈圖 |
TOF-SIMS真的有那麼神奇嗎？讓我們看看它的特點吧！
從圖二就可了解到，TOF-SIMS在靈敏度與解析度上取得了一個皆可接受的平衡點。
首先在空間解析度上可達50nm這麼小的範圍，千萬別再和magnetic SIMS動轍要求至少50um的大小相提並論了，再加上針對包括有機與無機材料的微量物質或污染的成分分析能力，使TOF-SIMS成為微區分析的利器，可廣泛應用於先進製程材料的研究、先進製程的開發、先進封裝的製程改善與生醫方面的研究。
- 有機汙染物分析（spectrum）
圖三 TOF-SIMS具有微區有機汙染的分析能力，藉由和資料庫比對，可得知有機污染物的來源 |
在縱深解析度方面，可達埃(A)的等級，不管在先進製程的低能量離子佈植還是極薄的鍍層或磊晶結構皆展現了其卓越的分析能力。
圖四 超淺接面濃度縱深分析，在100nm的尺度範圍內量測濃度的縱深分佈 |
圖五 距離表層僅8nm的SiON也無所遁形 |
以上在結合了空間解析度與縱深解析度的能力後，TOF-SIMS能夠勾繪出3D成份分析的立體圖，在解構物質的空間分佈上提供了更直觀的角度。
- VSCEL 磊晶成份分布
圖六 VCSEL磊晶成份分析，除了2D的縱深分析以外，還建構了3D立體圖 |
至於靈敏度方面，其維持了ppm等級的偵測水準，補足XPS或FTIR上微量分析之不足，當然此偵測極限也適用於一般的濃度縱深解析。
除了前述的特點以外，傳統的分析能力當然也不能少，包括了全元素的分析、絕緣材料分析、成份成像圖（FFT）等，滿足了各領域對TOF-SIMS的需求。
圖七 檢測鈉(Na)在SiO2的含量 |
圖八 不同元素在平面上的分佈 |
最後，在驚豔TOF-SIMS的能力之餘，也別忘了閎康科技提供的快速服務，身為台灣第一家提供TOF-SIMS服務的分析檢測實驗室，未來亞太地區的客戶不需再漫長的等待數據，可將閎康科技列為首選的成份分析廠商囉！
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