AFM
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方式 |
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Atomic Force Microscope (AFM) uses a sharp tip/probe mounted on a cantilever to scan the sample surface to sense surface electronic and magnetic properties. |
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主な走査モードとしては、コンタクトとタッピングの2つがあり、さまざまなアプリケーションに広く採用されています。オプションとして走査型静電容量顕微鏡（SCM：Scanning Capacitor Microscope）の測定も可能で、IC産業のための付加的なアプリケーションを提供することができます。さらに、表面の電気的・磁気的特性を評価するための、AFM技術に基づく多くのアプリケーションの開発が継続的に進められています。
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保有装置 |
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AFM (Bruker ICON)
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応用 |
- <100um 表面モルフォロジー
- 粗さ分析
- 局所的な寸法と高さの測定
- 3次元画像解析
- 薄膜表面構造または欠陥解析、最大サンプルサイズ：12インチウェハ
(a) 表面粗さ解析 |
(b) 3次元画像 |
セクション分析 |
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