SAT
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方式 |
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走査型音響トモグラフィー（SAT）は、走査型音響顕微鏡（SAM）とも呼ばれ、20KHz以上の超音波でICの構造を調べる手法です。 |
装置のプローブで発生した超音波は、中間体（純水）を介して対象サンプルに垂直に伝播し、サンプル内に浸透します。この波は、異なる材料や構造の界面に出会うと部分的に反射します。反射信号を解析することでサンプルの3D構造を構築できます。プローブはサンプルの材料と厚さに基づいて選択され、生成される超音波は15〜230MHzの範囲で変化します。エポキシパッケージでの侵入深さは約4mmです。 SAT / SAMのアプリケーションには、マイクロエレクトロニクス、LED、MEMS、パワーモジュール、先端デバイスなどのハイエンドIC製品が含まれます。
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保有装置 |
 日立 FS300II |
 Sonoscan GEN6 |
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応用 |
SAT / SAMアプリケーション：
- パッケージの亀裂
- 層間剥離
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ダイクラック
- エポキシボイド
- ダイ接着不良
- はんだ不良
- 金属部接触不良
弊社のSAT/SAMは、高さ分解能0.5μm、スキャン速度1000mm/sでROIのin-situ 3D画像を生成できます。
スキャンモードは、Aスキャン、Bスキャン、Cスキャン、Sイメージ、Tスキャンがあります。
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