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EBIC (Electron Beam Induced Current) |
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EBICは、p-n接合、接合欠陥、拡散長のイメージングと特性評価のための手法です。 |
電子ビームが半導体に当たると、内部の電界により、空乏領域で電子正孔対が生成・分離し、電流の流れを測定することができます。
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EBAC (Electron Beam Absorbed Current) |
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EBACは、相互接続のオープンやショートを識別するための迅速で効果的な方法を提供します。 |
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EBACは、電子ビームを利用し、誘電体層を貫通して試料内部に電荷を注入します。下層のメタライゼーション層（3層または4層）に吸収された電荷は、プローブを介して電流増幅によって測定されます。 |
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