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技術コンセプト |
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光学顕微鏡（OM）は、サンプルの表面形態を表示するために用いられます。 対象領域に可視光を照射すると、その偏向と反射による二次元の強度コントラストが得られます。 |
その分解能は入射波長の約半分であり、可視光（波長400〜700 nm）の場合は約0.2μmです。 この解像度から最大倍率が約1,000Xに制限されるため、光学顕微鏡はサンプルの表面構造の事前検査に使用されます。
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装置 |
 (a) 50~1,000X (b) 100~500X / 40~200X / 5~75X (c)50~1,000X |
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アプリケーション |
光学顕微鏡のアプリケーションは次のとおりです：
IC断面観察
レイヤー解析
粒界無析出帯の観察
転位とオーバーエッチングの観察
酸化誘起積層欠陥の研究
 (a) Metal (b) Poly (c) OD/AA |
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