HRXRD
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方式 |
Bruker Discover D8は、複数の機能を備えたX線回折システムです。粉末回折と低角度回折に加えて、このシステムは、結晶性、結晶粒径、化合物や薄膜の組成、濃度などを調べるのに適した、測定用途に応じて分解能を任意に切り替える3つの光学素子を備えています。 その逆格子マッピング（RSM：reciprocal-space-mapping）は、結晶格子の歪みに関する情報を提供できます。
さらに、多層サンプルの膜厚、粗さ、および電子密度は、X線反射率法（XRR：X-Ray. Reflectivity）によって測定できます。 X線の透過と反射の特性により、最大検出深度は300 nmに、粗さは5nmに制限されます。
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保有装置 |
 Bruker Discover D8 |
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応用 |
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(三結晶HRXRD) 三結晶を用いた高分解能XRD分析
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(結晶性)結晶性分析
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(粒度）粒度分析
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単層/多層膜厚のXRR分析
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複合フィルムの組成分析
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微小角入射X線回折法(GID：Grazing Incidence X-ray diffraction)
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(粉末XRD)
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粉末X線回折(XRD)
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結晶格子パラメータの解析
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薄膜相の同定
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RSM(Reciprocal Space Mapping) 逆格子空間マッピング(RSM)
- エピタキシー分析
ITOフィルムのHRXRDスペクトル ピーク幅による結晶子サイズ評価 |
(a) GaNエピタキシャル膜の膜厚・組成解析 |
(b) GaNエピタキシャル膜のRSM分析 |
(c) SiGeエピタキシャル膜のHRXRDスペクトル |
(d) HfOx膜の厚さ、密度、粗さのXRR分析 |
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