Thermal EMMI （発熱画像解析）
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方式 |
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THEMOS miniは、半導体デバイス内部で発生する熱放射を検出することで故障を特定する半導体故障解析システムです。 |
このシステムは、高感度熱放射検出器（InSb検出器）で検出した熱画像を、赤外共焦点レーザー顕微鏡で撮影した半導体デバイスやパッケージのパターン画像に重ね合わせて表示します。このシステムはまた、通常の液晶法よりも環境に優しい方法です。
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保有装置 |
 Thermo ELITE |
 Thermo ELITE |
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Characteristics of Thermo ELITE
HAMAMATSU THEMOS mini |
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応用 |
- 金属線の短絡
- コンタクトホールの異常
- PKGショートワイヤー(デキャップなし)
- 酸化物層の破壊・漏洩
- TFT-LCD リーク/有機EL リーク局在化
- 開発中のデバイスの温度異常の観察
- ESDラッチアップ、PCBトレースオープン/ショート
- 動的・静的解析...など
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IC裏側からの発熱解析画像
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IC裏面パターン ＋ 発熱画像
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IC前面からの発熱画像解析
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(a) IC appearance (b) X-ray image (c) Thermal emission image
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Thermal emission heat source depth estimation
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