FIB回路修正
FIB回路修正は、ICデザイン業界にとって重要なサービスです。お客様のIC設計業務上の問題を解決するには、迅速な対応と高い歩留まりが鍵となります。
MA-tekではお客様に高品質で迅速な回路修正サービスを提供できるよう、現在15台のシングルビームFIBを揃え、24時間365日体制での作業を行っています。
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技術コンセプト |
FIBはGaをイオン源として使用し、負の電界によってGaイオンを放出します。イオンビームは静電レンズシステムにより試料表面に集光され、自動可変アパーチャによりビームサイズを制御することができます。Gaイオンの質量は電子に比べてはるかに大きいため、FIBを用いて試料表面の材料除去やナノリソグラフィーを行うことができます。
FIBは、IC回路修正のための材料（金属、誘電体、酸化物など）を切断、エッチング、蒸着することができます。さらに、現在、ポリマー、金属（Al、Cu）、酸化物などの除去に適用されているガスアシストエッチング（GAE）システムを用いることで、エッチング速度を向上させることができます。蒸着種には、Pt、W、酸化物（TEOS）があります。
シングルビームFIBとフィールドエミッション電子顕微鏡を組み合わせたものをデュアルビームFIB(DB-FIB)と呼びます。この装置は試料の断面観察（検査）に使用できます。われわれの強みは、さまざまなFIB設備を保有し、経験豊富な専門技術者を揃えていることです。このように、当社はお客様に最高のFAサービスを提供いたします。
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アプリケーショ |
FIBは1993年以降に、産業分野でのIC故障解析、特にTEM/SEMサンプルの前処理用途に使用されることが多くなりました。GAEシステムの助けを借りることで、IC回路の修正に使用し、マスクの交換にかかる時間を短縮することができます。
MA-tekは様々なFIBを用意しており、お客様に効率的で効果的なサービスを提供できます。我々のサービスには、ワイヤーの切断と接続、パッドのプロービング、断面観察などが含まれます。
MA-tekは、最高の品質と多様なサービスを提供するために、毎年多くの最新機器に投資し続けています。
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精密切断
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TEM試料調整
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IC回路修正・検証
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プロセス異常の解析
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イオンチャネリングコントラストによる結晶粒子形態の観察
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指定された故障アドレスへの自動ナビゲーション
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故障箇所特定のためのパッシブ電圧コントラスト解析
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応用例 |
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(a) FIB回路修正 (b) Snウィスカのカット (c) Pb-Snはんだの断面観察 (d) サンプルの断面観察 |
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(a) サンプルの断面観察 (b) FIBによるIC回路の修正 (c) ハンダボール下の断面観察 (d) IC異常箇所の観察 |
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(a) グレイン観察 (b) 断面観察 (c) FIBによるIC回路の修正 (d) PCB基板の断面観察 |
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(a) プロービングパッド (b) 大面積の断面観察 (c) FIB回路修正後の断面観察 |
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