FE-AES
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方式 |
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Field-emission Auger electron Microscope (FE-AES) is a surface-sensitive tool to collect surface information with a thickness of 5-8 nm to obtain qualitative and semi quantitative composition analysis. |
JEOL JAMP-9500Fは、電界放出型オージェ電子顕微鏡（FE-AES）です。半球型エネルギーアナライザー（HSA）を搭載しており、電子エネルギー分解能は0.05%です。また、本装置のSEMの空間分解能は3nm、オージェマッピングの空間分解能は8nmです。FE-AESは、5～8nmの深さの表面情報を収集するための表面に敏感なツールです。定性および半定量的な組成分析が可能です。また、付属のスパッタイオンガンを用いて、多層膜間の相互拡散を解析することができます。
また、汚染物質の厚さは、定期的に表面残留物の組成含有量を監視することによって評価することができます。また、データベースを利用して、特に遷移元素の化学状態解析を行うことができます。さらに、共存する様々な化学状態の深さ分布も取得できます。
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保有装置 |
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JEOL JAMP-9500F
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応用 |
- マルチポイントAES解析
- AES デプスプロファイル
- AES マッピング分析
- 表面清浄度モニタリング
- 化学状態分析
- 表面組成と半定量的な含有量分析
- 表面酸化物層の厚さ評価
- 0.1%以上のドーパント分析
(a) Al パッドのデプスプロファイル |
(b) Al パッドの AES スペクトル |
(c) 酸化鉄の化学状態分析 |
(d) TSV の AES マッピング |
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