EELS
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方式 |
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EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy) |
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(a) 300KV Titan (b) Gatan 965 EELS |
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EELSの近端微細構造を使用して、16nmhigh-k材料のさまざまな材料の酸素の化学状態を分析しました。
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EELSラインスキャン分析により、16nm Low-k材料を評価しました。
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