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α-step
方式 |
The alpha-step uses a diamond-made sharp probe to scan the surface of objects in order to obtain their surface morphology. |
α-stepは、ダイヤモンド製の鋭利なプローブを用いて対象物の表面を走査し、表面の形態を取得します。走査中の高さの変化は導電性センサーで検出し、記録されます。これにより、表面の形態と粗さを知ることができます。
保有装置 |
Bruker
応用 |
- 一次元表面モルフォロジー測定
- 薄膜の膜厚測定
- 深さ分析
- 一次元粗さ解析
- 最大測定試料サイズ:200mm(8”ウェハ)
- 最大測定長:55mm,最大Zレンジ:1.2mm
薄膜の膜厚測定 |
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1次元表面粗さ解析 |
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