C-AFM（コンダクティブAFM）
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方式 |
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コンダクティブAFM（C-AFM）はAFMの機能の一つです。これは、先端が尖ったTip（探針）を持つマイクロスケールのカンチレバーで構成され、ナノメートルの分解能で表面形態を得るために用いられます。 |
AFMは、1983年にGerd BinningとHeinrich Rohrerによって発明され、1986年にノーベル物理学賞を受賞した走査型トンネル顕微鏡(STM)を発展させたものです。AFMの先端を試料表面に近づけると、Tipと試料間の反発力により、フックの法則に従ってカンチレバーが曲がります。フィードバックシステムにより力を制御することで、高空間分解能の表面形態を得ることができます。
C-AFMはAFMに似ていますが、スキャン時にTipとサンプル間に追加の電圧バイアスが印加されます。I-V測定により接点の局所領域の電気的特性を得ることができ、スキャン画像から故障位置をより正確に特定することができます。
 C-AFMの模式図 |
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EFMの概念図 |
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保有装置 |
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Bruker INNOVA |
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応用 |
- It can be used in failure analysis for high resistance contact, junction leakage, gate oxide leakage, etc.
- To identify various contact types. (P+/N+/Poly CT)
- To diagnose failure mechanisms by comparing I-V curves on different contact types.
- To measure I-V curve on a specific point.
- To provide information about surface potential and charge distribution.
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C-AFMは表面トポグラフィ[形態]とI-V特性を提供します (a) Topography (b) +1Vバイアス時の電流 (c)-1Vバイアス時の電流 |
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C-AFMによる4つの異なる点（A、B C、D）のI-V曲線 |
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