SCM
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方式 |
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走査型静電容量顕微鏡（SCM：Scanning Capacitance Microscope）は、N型とP型を区別した2次元のドーパント像を観察することができます。 |
この技術は、ドーパント分布の異常による故障の解析やリバースエンジニアリングに役立ちます。SCMは、1次元分布の情報しか得られないSIMSやSRPなどの他のツールを補完するツールとして利用することができます。
SCMはAFMをベースにした機能の一つであり、空間分解能は20nm程度です。金属コーティングされたプローブにACバイアスを印加することで、dC/dV信号を変換して2次元のドーパント分布を得ることができ、N型とP型の領域や界面を区別することができます。
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保有装置 |
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Bruker D3100, Multiprobe Hyperion
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応用 |
- N-型およびP型ドーパントの分析
- P-N 接合の分布解析
- 異常なドーパント分布/リーク分析による故障解析
- 2次元ドーパント分布のリバースエンジニアリング
(a) SRAMサンプルの断面ドーパント分布 (b) CISアレイのドーパント分布 |
P/N-レンチドーパント分布 |
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